高精密 雷射探針清潔設備

半導體產業

雷科股份有限公司

雷射設備 - 精密加工,創新科技

Laser Equipment - Precision Processing, Innovative Technology
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高精密 雷射探針清潔設備

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高精密 雷射探針清潔設備
高精密 雷射探針清潔設備

  • 使用目的
    用於量產線,確保清潔一致性、良率與生產週期穩定, 高精密清潔, 不傷底材。
  • 主要目的
    投入量產、提升良率、降低清潔耗時、穩定製程。
  • 雷射模組
    採用高穩定度雷射源,支援客製能量曲線與更高脈衝重複率。
  • 光學系統
    高階鏡頭 + 客製光斑優化,針對客戶探針密度/角度調整。
  • 治具設計
    客製精準治具(含角度補償、高精度 X/Y/Z 調整)。
  • 加工速度
    業界最快線掃方式, 有效提升加工速度。
  • 軟體功能
    完整介面:配方管理、點位記錄、歷史追蹤、MES 串接。
  • 自動化能力
    支援全自動:Tray 進退料、定位相機、AI 偵測污染點。
  • 可靠性
    為長期量產設計。

產品說明

詳細產品內容或加工說明

加工前-中央區域探針(大倍率顯微鏡) 加工前-中央區域探針(大倍率顯微鏡)
加工後-中央區域探針清潔效果佳.底材無傷痕 加工後-中央區域探針清潔效果佳.底材無傷痕
加工前-右下區域探針(大倍率顯微鏡) 加工前-右下區域探針(大倍率顯微鏡)
加工後-右下區域探針清潔效果佳.底材無傷痕 加工後-右下區域探針清潔效果佳.底材無傷痕
加工前-右側區域探針(大倍率顯微鏡) 加工前-右側區域探針(大倍率顯微鏡)
加工後-右側區域探針清潔效果佳.底材無傷痕 加工後-右側區域探針清潔效果佳.底材無傷痕
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